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運動及控制

運動平臺采用分段式非接觸的氣浮平臺,提高了玻璃基板的平整度,實現了高精度高速檢測。模塊化的機械設計提高了平臺可靠性,平臺主體構型兼容多種照明系統,且適用于在線和離線檢測技術。運動控制電機定位精度達到納米級別。


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